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[2014 KCS] 7nm node FinFET에서 Strain의 영향으로 발생하는 결함에 의한 접합 누설전류 분석

기간

2014

참가자

김현석, 손도균, 전상빈, 신형철

대회명

Korean Conference on Semiconductors

김현석, 손도균, 전상빈, 신형철, “7nm node FinFET에서 Strain의 영향으로 발생하는 결함에 의한 접합 누설전류 분석”, Korean Conference on Semiconductors(KCS), 2014.