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[2016 KCS] 3D TCAD를 이용한 4층의 Nanowire-FET에서의 sheet 저항 추출 방법

기간

2016

참가자

고형우, 서영수, 김현수, 김종수, 신형철

대회명

Korean Conference on Semiconductors

고형우, 서영수, 김현수, 김종수, 신형철, “3D TCAD를 이용한 4층의 Nanowire-FET에서의 sheet 저항 추출 방법”, Korea Conference on Semiconductor (KCS), 2016.